10. EUV 개발 역사 (10) - LPP 광원의 서막
Semiconductor/EUV lithography2023. 10. 7. 00:3310. EUV 개발 역사 (10) - LPP 광원의 서막

Laser-produced plasma light sources are especially powerful, precise, and controllable. Courtesy of Adlyte Inc. EUV 광원 개발을 위해 싱크로트론 방사의 대안으로 고려된 것은 바로 LPP, 레이저 생성 플라즈마입니다. LPP는 고강도 레이저 빔이 플라즈마를 생성하기 위해 주로 금속인 대상 물질에 초점을 맞추는 일종의 플라즈마 소스입니다. 플라즈마 내의 높은 온도와 압력은 EUV 빛을 포함한 빛의 방출로 이어집니다. EUV 광원 생산에 LPP를 사용하면 몇 가지 이점이 있습니다. 가장 큰 장점은 소형의 상대적으로 저렴한 장비를 사용하여 LPP를 생성할 수 있어 이 기술을 상용 응용 프로그램에 보다 쉽게 접근할 수 있다..

2. FDTD Method, 유한 차분 시간 영역법
Optical simulation2023. 10. 6. 16:482. FDTD Method, 유한 차분 시간 영역법

Maxwell's equations - Wikipedia From Wikipedia, the free encyclopedia Equations describing classical electromagnetism Maxwell's equations, or Maxwell–Heaviside equations, are a set of coupled partial differential equations that, together with the Lorentz force law, form the foundation en.wikipedia.org Finite-difference time-domain method - Wikipedia From Wikipedia, the free encyclopedia In finit..

9. EUV 개발 역사 (9) - 싱크로트론 방사광
Semiconductor/EUV lithography2023. 10. 6. 00:279. EUV 개발 역사 (9) - 싱크로트론 방사광

여러번 더 강조해도 모자르지만... EUV 광원 개발 여정의 핵심은 기술력 향상입니다. 스마트폰에서 슈퍼컴퓨터에 이르기까지 실리콘 칩은 현대 디지털 장치의 기반입니다. 더 작고 더 정밀한 회로를 만드는 능력은 더 강력하고 효율적인 장치로 직접 변환됩니다. 따라서 EUV 광원 기술은 곧 더 작은 트랜지스터 생산과 직결되어있으며 디지털 미래의 최전선에 있으며 성공적인 개발은 기술 발전에 매우 중요합니다. EUV 광원 개발을 위한 초기 노력은 주로 싱크로트론 방사를 활용하는 데 중점을 두었습니다. 낮은 변환 효율과 광범위한 잔해 완화의 필요성에도 불구하고, 이러한 소스는 EUVL의 중요한 부분이었습니다. 고려된 주요 요인은 필요한 출, 평균 전력 요구량 및 이러한 소스를 다른 EUV 애플리케이션에서 사용할 수..

1. 물체 및 상거리, S 와 S` 구하기
Optics/Miscellaneous2023. 10. 5. 20:381. 물체 및 상거리, S 와 S` 구하기

간단한 이미징 광학계를 구성할때 Zemax나 Code V에서 Paraxial lens와 Image simulater로 Alex 이미지 보면서 최적 배율 거리를 알 수도 있다. 하지만 이 보다 훨씬 간단하게 물체거리 S(L) 및 상거리 S`(L`)을 구할 수 있는 파이썬 GUI 코드를 작성해 보았다. 얇은 단일 렌즈를 가정한 수준임으로 매, 군 등 복합적인 렌즈들이 적용되는 Opitc System에는 맞지 않는다. 그러므로 복합적인 광학계를 구성할 경우 필히 Zemax 및 Code V와 같은 광선 추적 프로그램을 사용하길 바란다. 코드를 실행하면 아래와 같은 GUI 창이 열리게 된다. 배율은 렌즈의 초점거리에 의해 정해짐으로 초점거리와 배율을 입력하고 엔터를 누르면 S(L) 및 S`(L`) 값이 계산된다...

1. 광학 시뮬레이션 소개
Optical simulation2023. 10. 5. 12:531. 광학 시뮬레이션 소개

광학의 분야는 다양하고 그 분야들을 연구하기 위해 이제는 컴퓨터로 진행하는 수치해석이 필요합니다. 개인의 니즈에 따른 공학 수식이 적용된 MATLAB 코드나 COMSOL 등을 활용해서 해석 할 수 있습니다 하지만 보다 전문적인 상용 프로그램이 존재합니다. 제가 모든 광학 분야를 알지 못하기에 다양하고 많은 상용 프로그램을 모르나 이번 포스팅을 통해 제 전문 분야에서 사용하는 (했던) 광학 시뮬레이션이 무엇인지 간단하게 소개하고 앞으로의 포스팅에서는 (정말) 간단한 사용법과 응용분야 등을 소개하고자 합니다. 참고로 저는 대학교, 대학원에서 배우고 현재 기업체에 근무하면서 업무차원에서 사용하고 있습니다. 1. Ansys의 Lumerical Lumerical을 통해서 나노 포토닉스 소자를 설계하고 분석 할 수..

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