Atomic hydrogen cleaning 원래 엄청*(10^10) 예전에 수집기 클리닝은 실제로 수집기를 분리하고 액체 화학 물질로 세척하는 방식으로 수행되었는데요! 신기하죠? 그러나 이 방법은 용납할 수 없을 만큼(칩메이커만 용납못함 사실 흐흐..) 소스 가동 중단 시간을 발생시킵니다. 따라서 최근 몇 년 동안의 연구는 챔버에서 컬렉터를 제거하지 않고 청소하는 방법에 중점을 두었습니다. 이상적으로, 이 방법은 시스템을 환기시키지 않고 EUV 소스를 중단하지 않고 수행할 수 있는 진정한 제자리 세척이 될 것입니다. 가장 널리 연구되고 있는 잠재적 현장 세정 방법은 수소 라디칼을 사용하는 것입니다. Sn이 H 라디칼에 노출되면 반응하여 휘발성 스타난(SnH4)을 형성할 수 있으며, 다음 반응에 따라 펌..

Collector Performance 콜렉터 광학의 반사율 저하는 콜렉터 광학과의 이물질 상호 작용의 영향입니다. grazing 입사 미러의 경우 스퍼터로 인한 거칠기 및 오염이 반사율 손실의 주요 원인입니다. 정상 입사 미러의 경우 스퍼터로 인한 거칠기, 스퍼터로 인한 침식, 에너지 이온 주입 및 Sn 증착이 반사율 저하를 유발합니다. 높은 반사율을 위한 최적의 이중층 수는 언급하였듯, 약 50개입니다. 이물질을 완화하지 않는 경우 침식이 가장 해로우며, MLM을 파괴하고 되돌릴 수 없습니다. LPP 소스에서 플라즈마 오염으로 인한 침식을 완화하기 위해 MLM 콜렉터 광학에 추가 이중층을 사용하여 PM 주니... 광학계의 사용 수명을 연장하게됩니다. MLM의 두꺼운 스택은 층이 침식될 때 반사율을 일..

Pierre de Fermat는 17세기에 프랑스에 살던 수학자인데, "nature is economical"과 같은 견해를 갖고 있었다. 그의 철학의 결과로써 1657년에 다음과 같은 공리를 주장했다. Femat의 최소 시간의 원리 (Ferma 's PrincipIe of Least Time): 빛은 두 점 사이를 이동할 때 최소시간이 걸리는 경로를 택하여 이동한다. 균일매질(빛의 속도가 일정하게 유지되는)에서 최소시간과 최단경로가 동 일하므로 반사의 법칙을 유도 하는 데에 Hero의 원리가 잘 적용되었던 것처 럼 Fermat의 원리를 사용해서도 반사의 법칙을 유도할 수 있다. 물론 Fermat 의 원리를 사용하면 굴절의 법칙도 유도할 수 있다. 굴절률이 다른 분리된 두 매질 사이의 경계를 가로질러 광..

광학계의 시야(Field of view: FOV)는 시야조리개(Field stop: FS)과 구경조리개(Aperture stop:AS)이라 불리는 광학계 내에 있는 두 가지 개구에 의존한다. 구경조리개은 물체의 각각의 점으로부터 광학계를 통해 투과될 수 있는 광량을 제어한다. 시야조리개은 시야각의 범위(크기)를 결정한다. 카메라에서 우리가 흔히 말하는 조리개는 구경조리개이고 필름의 틀은 시야조리개라고 보면 된다. 평면거울의 시야각의 범위(크기)를 구하기 위하여 아래의 그림과 같이 UV크기의 조리개직경을 갖는 평면거울과 E'에 중심이 있는 조리개직경 S'T'를 갖는 눈으로 구성된 광학계를 생각해 보자. M을 지나는 수직면은 물체 면이다. 여기서 눈은 구경조리 개, 그리고 거울은 시야조리개 이라고 가정한다...

두개의 평면거울들의 한쪽 모서리들이 사이각을 이루고 있어 한쪽 거울 면에 입사된 광선은 다른 쪽 거울 면에 입사된 후 다시 반사되어 편향각을 가지고 진행한다. 위 그림은 거울들의 모서리 부분들에 수직인 단면들에서 광선의 경로를 보여준다. 좌측에서 입사된 광선은 사선의 거울에 반사되고 다시 하단의 거울에 입사된 후 다시 반사되어 사선거울과 평행한 각도로 향한다. 반사되어 나가는 광선은 중간 지점에서 입사된 광선과 교차된다. 이때 편향각을 구할 수 있고, 이는 입사광선의 경로선분과 나가는 광선의 경로선분의 사이 각으로 주어진다.