EUV(극자외선) 스캐너의 성능을 이해하는 데 있어 광학 오염 문제는 이제 극복해야 할 핵심 과제였습니다. 결국 해냈?..죠 오염을 저감시키려는 수 많은 노력과 성과는 20년 이상의 노력이 뒷받침된 결과였습니다. 이번 포스팅에서는 포토공정의 성능을 좌지우지하는 EUV 오염, EUV Contamination에 대해서 알아보겠습니다. 이전에 작성한 오염에 관한 EUV 역사 포스팅이있었는데 내용이 일부 빈약해서 업로드 하지 않았습니다. 이번 포스팅을 통해서 기본기도 다루면서 심화된 내용도 함께 다루겠습니다. 먼저 기초입니다! 이번 포스팅은 시리즈는 약간 깁니다! [기초] EUV 오염에 대해서 EUV 오염 원인은 주석입니다. 엥 이게 무슨 소리냐고요? 주석 때문에 LPP로 EUV 광원을 발진 시킬 수 있었는데 ..

Airial Image Measurement System (AIMS) 안녕하세요. 오늘은 Zeiss의 AIMS EUV 설비에 대해서 포스팅해보려 합니다. 우선 AIMS가 무슨 설비인지 알아야겠죠? 아시는분도 계시리라 믿지만 혹시 모르시는분을 위해서 간단히 설명하자면... AIMS는 반도체 포토공정, 포토리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크의 결함유무를, 패턴에 대한 형상정보를 파악하기 위한 현미경이라고 생각하시면됩니다. 자 제가 생각하기에 빛은 연봉입니다. 똑같은 연봉이라도 사람마다 느끼는게 다 다르거든요... ? ^^,, 빛도 똑같습니다. 빛도 가지각색인데 동일한 사이즈의 형상이나 패턴이라도 빛마다 느끼는 패턴의 형상이나 성능이 다 다릅니다. 즉 EUV 마스크를 평가하려면 EUV 빛으로 검사해야합니다..

빛이 유리나 물과 같은 매질에 입사되면 반사, 투과, 흡수 등과 같은 현상 들이 나타나게 되는데 붉은 페인트는 붉은색 빛은 반사 하지만 그보다 파장 이 짧은 빛은 대부분 흡수 하게 된다. 녹색 식물은 녹색 빛을 반사 하므로 광합성을 증진시키기 위하여 녹색 빛을 사용 하여 식물을 조명하는 것은 매우 비효율적인 방법이다. 매질이 빛을 흡수 하거나 반사만 하게 되면 불투명 하게 된다. 보통의 유리는 파장이 짧은 자외선에 대해서는 불투명 하지만, 검은 유리는 가시광에 대하여 불투명 하다. 연마된 유리판과 같이 투명한 기판들은 각각의 면마다 수직으로 입사된 빛의 약 96%를 투과한다. 렌즈나 프리즘과 같은 광학소자들에서 사용되는 유리판들은 빛을 아주 작게 흡수 하지만 빛이 유리판의 위아래 면을 통과 하게 되면 0..

빛은 매우 빠르게 운동한다. 사실, 아인슈타인의 상대성 이론에 의하면 빛은 우주의 그 무엇보다도 빠르게 운동한다. 빛이 아주 빠르게 운동하므로, 우리 들의 일상생활 속에서 빛을 느끼기에는 한 점에서 다른 점으로 이동할 때 이동시간이 없이 순간적으로 이동하는 것처럼 느끼게 된다. (즉, 빛이 무한대 의 속도를 갖는 것으로!) 갈릴레오가 그의 저서 Discorsi에서 처음으로 빛이 유한 속도를 갖는 것을 제안했다. 오늘날 빛의 속도 C는 다음 값으로 알려져 있다. C = 299,792,458 m/sec = 186,300 miles/sec 연못에 돌을 던지면 물결이 동심원을 그리며 전파 되는 것을 볼 수 있다. 이때 수면 매질 입자들은 요동 하여 파동형태의 물결들을 이루게 되는데 이 때 입자들은 위 아래로 운..

빛은 전하를 띤 진동하는 입자들에서 방출되는데 순간 순간 변화 되는 전 기장과 자기장 성분으로 구성된 전자기 복사이다. 이 전자기복사는 에너지를 운반할 뿐만 아니라 광속 C로 매질이 없는 공간에서도 전파 되는데, 이때 전자기복사 파동의 진동수 와 파장의 곱은 광속 C와 같은 값을 갖게 된다. 전자기 복사의 스펙트럼은 파장이 짧은 X-ray, UV부터 IR, Thz 영역까지 광범위한 파장을 갖지만, 사람의 눈은 파장대역이 아주 좁은 가시광 성분의 빛만을 감지할 수 있다. (아쉽다.) 빛 현상을 다루는 광학을 이해하는 가장 간단한 방법은 광원에서 나온 빛이 직선으로(또는 Rays: 선, 광선)진행하는 것으로 생각하는 것이다. 광선: 어떤 광학계 내 한 점에서 다른 점으로 빛 에너지가 투과되는 경로를 의미한다..