7. 포토공정(Photolitho)에서 Aberration(수차)의 영향성
Optics/Miscellaneous2024. 3. 28. 17:227. 포토공정(Photolitho)에서 Aberration(수차)의 영향성

Aberration 수차는 상을 맺을 때 한 점에서 나온 빛이 광학계를 통한 다음 한 점에 모이지 않고 영상이 빛깔이 있어 보이거나 일그러지는 현상이 나타나는 것을 말하는 것으로 즉, 구면경이나 Lens가 같는 고유한 성질로써 상의 정확한 결상을 방해하는 모든 현상을 말합니다. 수차의 종류는 크게 단색 수치와 색수차로 나뉘고 image가 흐려지는 문제와 상이 왜곡되는 image 찌그러짐 문제로 나뉩니다. 수차의 종류 수차의 영향성 1) Spherical Abberation(구면수차) : Lens의 서로 다른 부분을 통과하는 광선들이 광축선상에서 다른 점에 상을 형성.(Best Focus 차이) 2) Comatic Aberration(코마수차) : 비축물점에서 나온 광이 Lens의 다른부분을 통과하여 Im..

6. What is light?
Optics/Miscellaneous2024. 3. 19. 17:566. What is light?

To understand light, we must first understand the properties of waves. The components of a wave are amplitude, frequency, period, and wavelength. Amplitude is the difference in height between the low and high points of a wave. Frequency is the number of oscillations per unit time. Wavelength is the distance between the top of the wave and the top of the wave. The speed of a wave can be expressed..

5. Matlab GDC (Grating Diffraction Calculation)
Data science2024. 3. 7. 08:545. Matlab GDC (Grating Diffraction Calculation)

Grating Diffraction Calculator Design and simulation of diffraction gratings and periodic structures: Software tools and consulting service Highlights Highly efficient, optimized algorithms and code All grating types (multilayer, biperiodic, form-birefringent, etc.) Advanced parameterization capability (any number of grating parameters) Online-downloadable code with full documentation of theory ..

6. [핵심만 알자!] 포토마스크 종류 알려줘!
Semiconductor/Photomask2023. 12. 31. 07:366. [핵심만 알자!] 포토마스크 종류 알려줘!

Binary Mask 그냥 일반적인 마스크이다. 누구는 이진마스크 이러던데, 그냥 마스크이다. 1. Cr 투과율 It1/Iill. < 0.001 2. Cr층 반사율: Cr oxide가 Anti-Reflection 역할 - 크롬(Cr)은 우수한 차광 특성으로 인해 바이너리 마스크에서 흡수층에 사용된다. 크롬층은 산화되어 크롬 산화물층을 형성하는 경우가 많으며, 이는 리소그래피 공정 중 이미지 왜곡이나 초점 오차를 유발할 수 있는 광 반사를 최소화하기 위한 반사 방지 코팅의 역할을 한다 3. 열 팽창률: 0.55PPM/℃ @상온, Zerodur~ 0.05PPM 수준 - 마스크 재료(fused silica 또는 Zerodur)에 대한 열 팽창 계수(CTE)는 fused silica의 경우 섭씨 100만 분의 ..

10. 고조파 발생 (Harmonic Generation)
Optics/Laser optics2023. 12. 30. 22:1010. 고조파 발생 (Harmonic Generation)

고조파 발생과 광 파라메트릭 발진 주파수가 다른 전자장 사이에서 서로 에너지 교환이 가능하다는 현상을 응용하는 것이다. 비선형 매질에서 전자파의 전파에 대한 방정식(맥스웰 방정식) : (무손실 비도전성 매질에서 자기적으로 선형이고 등방성이며, μ=μo인 경우) 가 된다. 전기분극 P를 선형 부분 PL=εoχLE와 비선형 부분 PNL로 나누고, ε=εo(1+χL)을 이용하면 (전기분극 P를 선형 부분 PL=εoχLE와 비선형 부분 PNL로 나누고, ε=εo(1+χL)을 이용) 참고로 더 나아가서 이를 맥스웰 방정식에 다시 대힙하여 회전(curl)을 취하고 자기장 성분 H를 소거하면 파동방정식을 얻게 된다. 2차 비선형효과에 의한 고조파 발생 원리 제2고조파 발생(second harmonic generati..

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