7. 포토공정(Photolitho)에서 Aberration(수차)의 영향성

 

Aberration 수차는 상을 맺을 때 한 점에서 나온 빛이 광학계를 통한 다음 한 점에 모이지 않고 영상이 빛깔이 있어 보이거나 일그러지는 현상이 나타나는 것을 말하는 것으로 즉, 구면경이나 Lens가 같는 고유한 성질로써 상의 정확한 결상을 방해하는 모든 현상을 말합니다. 수차의 종류는 크게 단색 수치와 색수차로 나뉘고 image가 흐려지는 문제와 상이 왜곡되는 image 찌그러짐 문제로 나뉩니다.

수차의 종류

수차의 영향성

 
1) Spherical Abberation(구면수차) : Lens의 서로 다른 부분을 통과하는 광선들이 광축선상에서 다른 점에 상을 형성.(Best Focus 차이)

 
2) Comatic Aberration(코마수차) : 비축물점에서 나온 광이 Lens의 다른부분을 통과하여 Image Plane상에서 다른 점에 상을 형성.(Principal Plane이 곡면일 경우 발생)

 
3) Astimatism(비점수차) : Tangential Image와 Sagittal Image가 불일치로 여러 상점들이 Coniod라고 불리는 복잡한 3차원의 공간에 분포하는 현상.

 
4) Field Curvature(상면만곡) : 2차원의 Plane Object Image가 곡면상(Petzval surface)에 맺혀 상이 찌그러진 현상. (TS:SS = 3:1 비율의 곡면상의 집합)

 
5) Distortion(상왜곡) : Field Curvature를 제거하기 위해 Stop을 사용 시 입사각의 각도에 따라 Image Mag. 가 달라져 상이 찌그러지는 현상

 
6) Chromatic Aberration(색수차) : 매질의 굴절률 n이 여러 파장에 따라 Image가 변하는 성질로써, 분산에 의해 Lens를 투과한 입사광의 파장에 따라 굴절률이 달라 focus가 색 별로 다르게 맺히는 현상.