Binary Mask 그냥 일반적인 마스크이다. 누구는 이진마스크 이러던데, 그냥 마스크이다. 1. Cr 투과율 It1/Iill. < 0.001 2. Cr층 반사율: Cr oxide가 Anti-Reflection 역할 - 크롬(Cr)은 우수한 차광 특성으로 인해 바이너리 마스크에서 흡수층에 사용된다. 크롬층은 산화되어 크롬 산화물층을 형성하는 경우가 많으며, 이는 리소그래피 공정 중 이미지 왜곡이나 초점 오차를 유발할 수 있는 광 반사를 최소화하기 위한 반사 방지 코팅의 역할을 한다 3. 열 팽창률: 0.55PPM/℃ @상온, Zerodur~ 0.05PPM 수준 - 마스크 재료(fused silica 또는 Zerodur)에 대한 열 팽창 계수(CTE)는 fused silica의 경우 섭씨 100만 분의 ..