이전 포스팅에 이어 계속 하려합니다. 쭉 언급한 내용이지만 중요하게 짚고 넘어가야 할 점은 EUV 빛은 흡수가 잘되기에 투과가 되지않습니다. 그러므로 EUV 광학계는 투과 광학계 대신 반사 광학게를 사용하여 빛을 웨이퍼에 전달하는 시스템을 가지고 있습니다! 그러기에 EUVL에 사용되는 광학 시스템은 복잡하고 복잡하게 설계되어 반사 이미징 시스템 설계의 지속적인 혁신과 발전이 필요합니다. 이전의 포스팅에서도 설명하였듯, EUVL 광학 시스템의 발전은 Schwarzschild 광학의 구현으로 시작되었습니다. 다시한번 간략하게 설명드리자면 독일의 물리학자이자 천문학자인 Karl Schwarzschild의 이름을 딴 Schwarzschild 광학은 두 개의 거울을 활용하는 광학 시스템입니다. 이 구성은 EUVL..