26. 구면거울의 시야(FOV)와 각배율
Optics/Ray optics2023. 11. 24. 14:0226. 구면거울의 시야(FOV)와 각배율

앞에서는 평면거울의 실제(물체) 시야와 외견상의(상) 시야가 동일함을 보았다. 구면거울들은 실제 시야보다 크거나 작은 외견상의 시야들을 갖는다. 즉, 확대되거나 축소된댜 아래 그림에서처럼 눈으로 거울을 들여다 본다고 하자. 눈의 동공(pupil)는 광학계의 개구 Stop이다. 이때 거울은 이 광학계의 첫 번째 소자이다.(빛은 눈에 들어오기 전에 거울에서 먼저 반사된다.) 입사동 (BOC)을 구하려면 거울에 의해 만들어진 상을 먼저 구해야 한다. 왜냐하면 입사동은 구경조리개(개구스톱)의 상이기 때문이다. 입사동은 구경조리개(개구스톱)의 정립허상이다. 이때 거울은 시야조리개(field stop)의 역할을 한다. 시야 조리개의 모서리 부분으로부터 광선 1과 2가 입사동의 중심 O로 향하 며, 선으로 그린 각 ..

4. EUV 개발 역사 (4) - 광학계 거울 구성
Semiconductor/EUV lithography2023. 10. 1. 00:054. EUV 개발 역사 (4) - 광학계 거울 구성

Aspherical-Mirror Imaging 이전 포스팅에 이어서 설명을 계속 하겠습니다. 하지만 구면거울이 가지는 수차로 인해 제조공정의 한계가 명백해지면서 비구면거울로의 전환이 불가피해졌습니다. 비구면 거울은 구면 거울과 달리 구면 수차, 즉 중심이 아닌 가장자리 근처에서 거울에 닿는 광선의 굴절 증가로 인해 발생하는 왜곡이 발생하지 않습니다. 이 속성은 EUVL과 같이 높은 정밀도가 필요한 응용 분야에서 매우 중요합니다. 1989년 NTT에서 2개 비구면 미러 이미징 시스템을 개발했습니다. 이 시스템은 리소그래피 노광 설비에 대한 세 가지 최소 요구 사항을 충족했습니다. 이미지 측면에서 텔레센트릭: 시스템은 주광선(조리개 중심을 통과하는 물체 공간의 축외 지점에서 나오는 광선)이 이미지 측면에 평..

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