9. Sheath 내에서 발생하는 현상
Semiconductor/Plasma2023. 12. 10. 11:539. Sheath 내에서 발생하는 현상

이차전자 방출! 이온은 Sheath potential로 부터 에너지를 얻어 가속되어 전극 표면과 충돌하고 전극 표면 물질의 work function보다 큰 에너지를 얻게되면 표면으로 부터 이차전자가 방출된다.

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