9. Sheath 내에서 발생하는 현상Semiconductor/Plasma2023. 12. 10. 11:53
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이차전자 방출!
이온은 Sheath potential로 부터 에너지를 얻어 가속되어 전극 표면과 충돌하고 전극 표면 물질의 work function보다 큰 에너지를 얻게되면 표면으로 부터 이차전자가 방출된다.
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