DGSS(Droplet Generator Steering System)는 EUV 소스 수집기의 기본 초점을 통해 주석 방울을 정확하게 안내하는 기술입니다. 여기에서 라인 레이저 모듈, 미세 범위 물방울 조정 카메라 및 큰 범위의 물방울 조정 카메라의 세 가지 구성 요소가 작동합니다. 카메라가 볼 수 있도록 물방울을 비추는 등대로 라인 레이저 모듈을 생각하시면됩니다. 이름 그대로 큰 범위의 물방울 스티어링 카메라는 광각 렌즈 역할을 하여 초기 위치 지정을 위한 넓은 시야를 제공합니다. 동시에 미세 범위 물방울 스티어링 카메라는 줌 렌즈처럼 작동하여 빔 얼라인을 위한 미세 조정을 하고 최적 좌표를 계산하고 송출합니다. 이 동적 시스템을 통해 액적 생성기를 빠르고 정확하게 조정할 수 있으며 이는 최적화된 EU..