10. DC Plasma에 대하여
Semiconductor/Plasma2023. 12. 11. 11:5410. DC Plasma에 대하여

방전 과정 및 Ⅰ-Ⅴ특성 Dark Discharge: 최소 전류에서 시작하여 눈에 띄지 않는 방전 상태를 보여줌. Corona Discharge: 코로나 방전이 시작되는 지점으로 전압 증가에 따라 전류도 증가함. Glow Discharge: 특정 분리 전압에 이르면 발광 방전으로 전환되며, 발광이 시작됨. 'Normal Glow'와 'Abnormal Glow'로 구분됨. Arc Discharge: 높은 전류와 낮은 전압이 특징인 영역으로 강력한 발광과 전류가 특징임. 여기서는 열전자 방출, 비열적 아크, 열적 아크가 발생함. Background Ionization to Saturation Regime: 초기 이온화부터 포화 상태에 이르는 과정을 보여줌. 전류는 전압 증가에 따라 증가하지만 포화 지점에 이..

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