n플라즈마 내부에서는 전자(e), 이온(i) 및 중성입자(n)의 3종류 입자들이 서로 충돌하면서 진행 n쿨롱 충돌(하전입자 간의 충돌→쿨롱 힘이 작용) : ① e-i, ② e-e, ③ i-I n역학적 충돌(적어도 하나의 중성입자가 충돌 대상→접촉 순간에만 힘이 작용) : ④ e-n, ⑤ i-n, ⑥ n-n n 단단한 구에 충돌돌하는 단면적적: 거의 입자 크기에 의해 결정 n 이온과 중성입자 (③ i-i, ⑤ i-n, ⑥ n-n) : n 전자와 입자 (① e-i, ④ e-n) : 평균 자유 행로(Mean Free Path) : 충돌에서 다음 충돌까지 이동하는 거리 \( \lambda_{12} = \frac{1}{n_2 \sigma} \) : 입자 2가 산포하고 있다고 가정, 입자 1이 2에 충돌 \( \l..

Kinetic Parameters: 전구체와 희석제, 유량, 펌핑 속도, 압력 등을 포함하며, 플라즈마의 운동학적 특성을 결정함. Electrical Parameters: 전력, 주파수, 전극 기하학 등으로 구성되며, 플라즈마의 전기적 특성을 조절함. 이 두 매개변수 집합은 'Plasma Parameters'로 통합되며, 이는 이온의 에너지, 화학종, 밀도, 온도, 체류 시간 등을 포함함. 이러한 플라즈마 매개변수는 공정 운동학과 기작에 영향을 미치고, 이는 다시 'Processed layer'의 특성에 영향을 줌. 'Plasma Parameters'와 'Surface Parameters'는 플라즈마-표면 상호작용을 통해 상호 연결됨. 'Surface Parameters'는 기판 및 전극의 재료(전도성/..

19세기: 생물학과 의학에서 '플라즈마' 사용, 원형질 및 혈장, 림프액을 지칭. 1985년 Faraday: 방전관 내 전리 기체의 독특한 특성 발견, 안정된 플라즈마 상태 확인. 1879년 Crooks: 방전 기체를 "제 4의 물질 상태"로 명명, 새로운 상태 강조. 1928년 Langmuir: 진공 방전에서 전자와 이온이 중성인 균일한 플라즈마 상태 발견. 1929년 플라즈마 진동 발견. 플라즈마(Plasma)란 ? 원자가 전자기장 및 입자와의 충돌 등에 의해 전하를 띠는 양이온과 전자들이 분리되어 있는 집단을 플라즈마(Plasma) 물질의 에너지 = 탄성에너지(전자기적 결합에너지) + 운동에너지(열에너지) 상전이는 운동에너지(열에너지)가 탄성에너지보다 큰 경우 발생함. • 고체 : C.M. 이 공간..