여러번 더 강조해도 모자르지만... EUV 광원 개발 여정의 핵심은 기술력 향상입니다. 스마트폰에서 슈퍼컴퓨터에 이르기까지 실리콘 칩은 현대 디지털 장치의 기반입니다. 더 작고 더 정밀한 회로를 만드는 능력은 더 강력하고 효율적인 장치로 직접 변환됩니다. 따라서 EUV 광원 기술은 곧 더 작은 트랜지스터 생산과 직결되어있으며 디지털 미래의 최전선에 있으며 성공적인 개발은 기술 발전에 매우 중요합니다. EUV 광원 개발을 위한 초기 노력은 주로 싱크로트론 방사를 활용하는 데 중점을 두었습니다. 낮은 변환 효율과 광범위한 잔해 완화의 필요성에도 불구하고, 이러한 소스는 EUVL의 중요한 부분이었습니다. 고려된 주요 요인은 필요한 출, 평균 전력 요구량 및 이러한 소스를 다른 EUV 애플리케이션에서 사용할 수..